天才一秒记住本站地址:[乐阅读]
https://www.leduxs.com/最快更新!无广告!
“老板已分析完成,并根据您的要求将‘光源’、‘光学镜头’、‘对准’这三个大块进行了分割,其他部分也已经按照不同的研究方向进行分割。
通过模拟实验得出,就算单独部分泄密,也不能造成任何影响。”
“做的好,贾维斯。
根据制造图纸的切分情况,将其分别发送到中科院相应研究所的邮箱中,注意对邮件进行相应加密保护。”
“明白,老板。”
………
第二天王昊哲根据安排直接进入中科院光研究所。
光研究所所长张大能,早早在大门口等着了。
见到王昊哲的专车停稳,张大能主动走上前去替王昊哲打开车门。
王昊哲看到张大能的行为十分吃惊“张所长,您这样客气可真的是太为难我了,作为前辈您随意点,我们这点没有上下级的关系。
“我这可不是客气,而是对您的尊重,我们做科研的人,年纪不是问题,看中的是科研成果,王总工的确是让我们等人十分的佩服呀!”
“张所长,您可别这样说,我们还是关注项目本身,这你我也是因为项目才有所成就。
张所长,关于‘0.1纳米光刻机’制造图纸中的‘光源’部分应该已经发送至你们所的邮箱了。”
“王总工,我们在收到制造图纸的第一时间,已经对其进行了详细的分析研究,但是还存在一些疑惑。大风小说
要不然我带您去我们新划分的研究中心,您给我们研究人员和工程师做一个详细的讲解吧。”张大能答道。
此时光研究所新的研究中心已经囊括了龙国在“光源”领域最顶尖的研究者。
他们面对王昊哲所给的图纸,已经在进行激烈的讨论,制造图纸中涉及的相关原理和分析已经有些超出他们现在的认知。
看到此状的张大能打破僵持的场面“各位,王总工来了,先让他给你们讲解一下制造图纸的相关内容,或许会更有帮助。”
在场的时候研究人员都安静了下来。
“各位既然,张所长已经说明白了,那我就给大家讲一下其具体的设计理念。
光刻的原理是在硅片表面覆盖一层具有高度光敏感性光刻胶,再用光线(一般是紫外光、深紫外光、极紫外光)透个晶圆。
但是现在所用的的护膜不适用于其配套的的光源,因此euv会损坏护膜。
同时若不使用护膜则很可能是最终良品率为0,这样一来整个光刻机的设计就是失败的。
因此能够制造出适合的护膜也将使光刻机的使用效率极大提升。
以上就是光刻机‘光源’制造的几个重点问题,各位你们还有其他的问题吗?或者还有什么不了解的地方,我们可以相互讨论。”
王昊哲对于“光源”的讲解已经十分透彻,并且其提供的制造图纸也给了十分详细的说明。
“既然在座的各位在‘光源’方面没有问题,那就请各位根据我今天讲的和我所提供的制造图纸进行相应的工作
期待各位能取得成功。”
………
王昊哲马不停蹄的赶往中科院高精度玻璃研究所。
高精度研究所作为中科院新成立的研究所,其科研成果发展迅速。
在其专为“0.1纳米光刻机”项目筹备的研究中心,已经开始有研究员有条不紊地忙碌着。
见到王昊哲的到来,高精度研究所所长方中一十分高兴。
“王总工,您怎么有空过来,既然来了就给我们讲一讲‘光刻机’制造的难点‘光学镜头’。”
“方所长您太客气了,既然都这样说了,我就根据各位手上的制造图纸简要说一下。
光刻机所用的波长越短,制程就越先进,但对物镜的加工精度要求就越高。
我们此时研制的‘超紫外光’因为已经超过其他同类产品,对于物镜的要求就更加高。
各位你们现在的责任也很大,你们的研究成果将会关系到整个项目的成功与否。
如何才能实现我们所需要的标准呢?
我们的解决方案就是:镜片由高精度机床铣磨成型后,还要经过小磨头抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密抛光手段,才能达到所需的精度。
之后再进行镀膜(对于duv物镜,是镀减反射膜;对于euv物镜,是镀反射多层膜)。
超精密光学镜头加工技术的基础是计算机数控光学表面成形技术(ccos)。
为此我同廖院长商量过,会专门成立一个计算机数控项目组。
同时我也会提供相应技术供其进行使用。
很多技术都是基于ccos原理的发展。”
……
章节错误,点此报送(免注册),
报送后维护人员会在两分钟内校正章节内容,请耐心等待。